金福彩票

当前位置:苏州商务路路发 > 苏州机械及行业设备 > 苏州清洗、清理设备 > 苏州超声波清洗设备 > 吴中区超声波清洗设备
产品详情

金福彩票 QUANZIDONGXINPIANQINGXIJI

设备用途:主要对处理后的硅芯进行腐蚀清洗

适用对象:多晶硅芯、横梁、硅芯原料等

控制模式:手动控制模式、全自动控制模式

项目

数据

基本规格

机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mm

机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mm

适用对象

名称                规格(mm        长度(mm         每批清洗量(预估)

多晶硅芯              Φ7-10            2000-2800               24-26

横梁                  Φ7-10             300-500                 若干

基座料                Φ40-50            250-300                 若干

硅芯原料             Φ120-150          2000-2800                1

选配模块

l  采用纯水隔离式或风帘隔离式可选

l  更全面的全自动干燥系统

l  可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

排风系统

排风强劲合理设计,为了排风效果达到,排风通道内设有风量导流板,为了方便操作人员及时根据情况调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风口再配合机台视窗上的可调节进气模块,从而达到使用效果

机台特点

l  刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性

l  QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定

l  更全面的自动干燥系统

l  管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品

l  保修便利,非期货库存品工厂内均建立安全库存品

l  全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小运行平稳,机械臂定位精度高

l  多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储

l  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全

l  客制化设计能力佳,搞设计能力满足客户制程工艺需要

机械臂装置

Robot的工艺路径种类 N种(设备出厂前载入PLC内)

机械手传送定位精度 0.3mm

机械臂走向 右进做出或左进右出

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏)

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备金福彩票

猜您感兴趣
最新产品
其他推荐:半自动石英管机/苏州尚纯/华南半导体设备/成都石英清洗机/全自动芯片清洗机/苏州尚纯/华北半导体设备/多晶硅芯清洗/横梁清洗全自动硅块清洗机/苏州尚纯/华北半导体设备/湖北硅晶清洗机/半自动硅片腐蚀清洗机/华南半导体设备/硅块腐蚀清洗机/重庆腐蚀清洗机全自动RCA清洗机/苏州尚纯/华中半导体设备/腐蚀清洗机
相关分类:超声波清洗设备高压水流清洗机工业吸尘设备抛丸清理机其他清洗、清理设备扫地机洗地机蒸汽清洗机商用洗碗机加香机、清洗机
周边城市:虎丘相城姑苏吴江常熟张家港昆山太仓
热门城市:厦门泉州广州深圳佛山东莞中山郑州武汉南京无锡大连济南青岛成都杭州宁波绍兴温州金华北京上海天津