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产品详情

金福彩票 BANZIDONGSHIYINGGUANJI

设备用途:本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管的清洗

控制模式:手动控制模式、自动控制模式

项目

数据

基本规格

机台封面:聚丙烯瓷白PP板材(厚度≥10mmOr China SUS板材(厚度≥2mm

机台主体强度结构:整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗:透明、抗静电透明PVC(厚度≥5mmOr China 钢化玻璃(厚度≥2mm

选配模块

l  槽内旋转

l  腐蚀液循环过滤系统

l  CDS补液

l  废液回收

l  可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

机台特点

l  刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性

l  QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定

l  管路系统、电气控制系统等关键核心部件均采用进口标准产品

l  保修便利,非期货库存品工厂内均建立安全库存品

l  多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储

l  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全

l  客制化设计能力佳,搞设计能力满足客户制程工艺需要

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏)

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备金福彩票

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